不管是超純水設備還是純水設備它的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態的礦物質元素經過反浸透膜，而溶解在水中的絕大局部無機鹽（包括重金屬）、有機物以及細菌、病毒等無法透過反浸透膜，從而使浸透過的純潔水和無法浸透過的濃縮水嚴厲的分開；反浸透膜上的孔徑只要0.0001微米，而病毒的直徑普通有0.02-0.4微米，普通細菌的直徑有0.4-1微米。

    超純水設備超純水設備和純水設備的區別：水的出水電導率不同1.超純水的出水水質：電阻率>15MΩ。cm超純水水質分為五個行業規范，分別為18MΩ。cm、15MΩ。cm、10MΩ。cm、2MΩ。cm、0.5MΩ。cm,以辨別不同水質。

    純水分為：工業純水和飲用純水工業純水：在25攝氏度中，普通純水：EC=1~10us/cm;2.高純水：EC=0.1~1.0us/cm;3.超純水：EC=0.1~0.055;飲用純水：EC=1~10 us/cm（國度規范）。制水的工藝流程不同1、超純水設備制水凈化工藝；預處置→反浸透→中間水箱→水泵→EDI安裝→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精細過濾器→用水對象（≥18MΩ。CM）。